[18a-P1-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[18a-P1-4] Wake-up処理電圧が微細加工したMPB,Tetra組成PZT薄膜の圧電特性に与える影響

^○牧本なつみ¹，鈴木靖弘^1,2，前田龍太郎¹，及川貴弘³，舟窪浩³，小林健¹ (産総研¹，茨城大²，東工大³)

キーワード：PZT薄膜,圧電