17:00 〜 17:15
[18p-A13-14] 極低温冷凍機による連続供給レーザープラズマターゲット(Ⅲ)
キーワード：X線源,レーザープラズマ,EUV
講演情報
一般セッション(口頭講演)
07．ビーム応用 » 7.1 X線技術
[18p-A13-1~14] 7.1 X線技術
2013年9月18日(水) 13:30 〜 17:15 A13 (TC1 3F-323)
一般セッション(口頭講演)
07．ビーム応用 » 7.1 X線技術
2013年9月18日(水) 13:30 〜 17:15 A13 (TC1 3F-323)
17:00 〜 17:15
キーワード：X線源,レーザープラズマ,EUV