2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.1 X線技術

[18p-A13-1~14] 7.1 X線技術

2013年9月18日(水) 13:30 〜 17:15 A13 (TC1 3F-323)

15:15 〜 15:30

[18p-A13-7] 波長4.5nm用軟Ⅹ線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

江島丈雄,羽多野忠,大野広大,深山宇大,相原翔学,柳原美廣 (東北大多元研)

キーワード:Soft X-ray Microscope,Condenser,Multilayer mirror