[18p-A13-1~14] 7.1 X線技術

[18p-A13-9] EUV光源の発光効率向上

^○砂原淳¹，西原功修²，佐々木明³ (レーザー総研¹，阪大レーザー研²，原子力機構関西研³)

キーワード：極端紫外光源,リソグラフィー