[18p-A4-1~18] 16.3 シリコン系太陽電池

[18p-A4-18] チャージポンピング法を用いた立体Si構造の絶縁膜界面準位の位置推定

^○小路智也¹，石川昂¹，角嶋邦之²，片岡好則²，西山彰²，杉井信之²，若林整²，筒井一生²，名取研二¹，岩井洋¹ (東工大フロンティア研¹，東工大総理工²)

キーワード：チャージポンピング法,界面準位,シリコン