13:30 〜 13:45
△ [18p-B4-1] CVDでのGe選択成長における(311)面上成長速度の温度依存性
キーワード：選択成長,Ge,シリコンフォトニクス
講演情報
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶
[18p-B4-1~12] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶
2013年9月18日(水) 13:30 〜 16:45 B4 (TC2 1F-106)
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶
2013年9月18日(水) 13:30 〜 16:45 B4 (TC2 1F-106)
13:30 〜 13:45
キーワード：選択成長,Ge,シリコンフォトニクス