[18p-B4-1~12] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

△ [18p-B4-10] RFスパッタリング法を用いた結晶Geナノ粒子膜の堆積

^○（M1）市田大樹¹，内田儀一郎¹，徐鉉雄¹，鎌滝晋礼³，板垣奈穂^1,2，古閑一憲¹，白谷正治¹ (九大シス情¹，PRESTO²，九大基幹教育院³)

キーワード：Ge,結晶化