[18p-B4-1~12] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

[18p-B4-11] EXAFS法によるSi結晶中のMnドーピング層形成過程の研究‐シリサイド化の検出‐

^○三木一司^1,2，村田晃一^1,2，新田清文³，宇留賀朋哉³，寺田靖子³，日塔光一¹，坂田修身¹ (物材機構¹，筑波大院数物²，JASRI³)

キーワード：doping,silicon,Mn