[18p-B4-1~12] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

[18p-B4-4] Sn導入による非晶質SiGe混晶薄膜の低温結晶化

^○山羽隆¹，荒平貴光¹，黒澤昌志^1,2，田岡紀之¹，中塚理¹，財満鎭明¹ (名大院工¹，学振　PD²)

キーワード：SiGeSn,結晶成長