2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

[18p-B4-1~12] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

2013年9月18日(水) 13:30 〜 16:45 B4 (TC2 1F-106)

14:45 〜 15:00

[18p-B4-6] スパッタリング法を用いたGe1-x-ySnxCy混晶薄膜の結晶成長および結晶性評価

寺澤謙吾,原田知典,山羽隆,中塚理,田岡紀之,財満鎭明 (名古屋大院工)

キーワード:半導体,GeSnC,結晶成長