[18p-B4-1~12] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

[18p-B4-6] スパッタリング法を用いたGe_1-x-ySn_xC_y混晶薄膜の結晶成長および結晶性評価

^○寺澤謙吾，原田知典，山羽隆，中塚理，田岡紀之，財満鎭明 (名古屋大院工)

キーワード：半導体,GeSnC,結晶成長