[18p-B4-1~12] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

[18p-B4-9] 高Ge濃度SGOIワイヤーの異方性ひずみ評価

^○臼田宏治¹，池田圭司¹，小瀬村太亮²，富田基裕²，小椋厚志²，手塚勉¹ (産総研GNC¹，明大理工²)

キーワード：シリコンゲルマ,ひずみ,ラマン