2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.2 半導体表面

[18p-C1-1~13] 13.2 半導体表面

2013年9月18日(水) 13:00 〜 16:30 C1 (TC3 1F-101)

16:00 〜 16:15

[18p-C1-12] バッチ式シリコンウエハ湿式洗浄機における水噴出ノズル設計

小野伸賢1,羽深等1,後藤昭広2 (横国大院工1,プレテック2)

キーワード:湿式洗浄