[18p-C1-1~13] 13.2 半導体表面

[18p-C1-2] Siのドーパントの水素による不動態化のEUPSによる観測

石塚知明¹，^○富江敏尚¹，金山敏彦² (産総研　計測フロンティア¹，産総研²)

キーワード：ドーパントの不動態化,EUPS,弗酸浸漬