[18p-C13-1~9] 3.2 材料光学

[18p-C13-6] 「光分科内招待講演」（30分)光リソグラフィ技術を応用したブレーズド回折格子製作技術の開発

^○角田和之¹，杉大作¹，松井繁²，江畠佳定²，渡邉哲也²，長谷川昇雄² (日立製作所ＭＤ事¹，日立ハイテク²)

キーワード：回折格子,リソグラフィー,3次元加工