[18p-D2-1~15] 6.5 表面物理・真空

[18p-D2-5] Si(113)表面初期酸化過程における電子状態の解析

^○大野真也¹，安部壮祐¹，三浦脩¹，成重卓真¹，吉越章隆²，寺岡有殿²，安田哲二³，田中正俊¹ (横国大工¹，原子力機構²，産総研³)

キーワード：酸化反応,シリコン,光電子分光