[18p-D3-1~17] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [18p-D3-16] トポタクティック反応によるSrFeO_x薄膜のフッ素置換

^○片山司¹，近松彰^1,2，廣瀬靖^1,2,3，高木亮介¹，神坂英幸^1,2，福村知昭^1,2，長谷川哲也^1,2,3 (東大¹，JST-CREST²，KAST³)

キーワード：酸化物薄膜,パルスレーザー堆積法