[18p-D3-1~17] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [18p-D3-17] ポリフッ化ビニリデンを用いたRNiO₃ (R=La, Nd)薄膜へのフッ素ドープ

^○小野塚智也¹，近松彰^{1, 2}，片山司¹，福村知昭^{1, 2}，長谷川哲也^{1, 2, 3} (東大院理¹，JST-CREST²，KAST³)

キーワード：パルスレーザー蒸着法,酸フッ素化物,PLD