[18p-D3-1~17] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[18p-D3-7] 結晶性In-Ga-Zn-Oを用いた不揮発性プログラマブルロジックエレメント

^○池田匡孝，岡本佑樹，中川貴史，青木健，上妻宗広，長多剛，黒川義元，池田隆之，山出直人，岡崎豊，宮入秀和，小山潤，山崎舜平 (半導体エネルギー研究所)

キーワード：CAAC IGZO PLE