[18p-D3-1~17] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [18p-D3-9] PLD法によるZnIn₂O₄薄膜における相安定化と結晶構造

^○井澤涼太¹，種村和幸¹，坂本尚紀¹，篠崎和夫²，鈴木久男¹，脇谷尚樹¹ (静岡大¹，東工大²)

キーワード：結晶構造,エピタキシャル成長