[18p-P10-1~13] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[18p-P10-4] 3次元集積回路のための多結晶Ge Junctionless Tri-gateトランジスタ

鎌田善己，^○上牟田雄一，池田圭司，古瀬喜代恵，小野瑞城，小田穂，守山佳彦，臼田宏治，小池正浩，入沢寿史，黒澤悦男，手塚勉 (産総研ＧＮＣ)

キーワード：ゲルマニウム,ジャンクションレス,トランジスタ