PDF ダウンロード スケジュール 5 いいね! 1 13:30 〜 15:30 [18p-P8-10] 紫外線により重合したポリシルセスキオキサンゲート絶縁膜の検討 ○芝尾秀人,中原佳夫,木村恵一,宇野和行,田中一郎 (和歌山大システム工) キーワード:polysilsesquioxane,ゲート絶縁層