[18p-P9-1~10] 13.3 絶縁膜技術

▲ [18p-P9-2] 多結晶Ge薄膜トランジスタの電気特性に及ぼす水素および酸素の影響

^○株柳翔一^{1, 2}，西村知紀^{1, 2}，長汐晃輔^{1, 2}，鳥海明^{1, 2} (東大工¹，JST-CREST²)

キーワード：多結晶Ge