[19a-A4-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

[19a-A4-3] 結晶シリコン太陽電池用a-SiN_Xパッシベーション特性の屈折率依存

^○山本俊輔^1,3，漆畑孝^1,3，酒井智香子^1,3，吉田晴彦^1,3，堀田育志^1,3，小椋厚志^2,3，佐藤真一^1,3，新船幸二^1,3 (兵庫県立大¹，明大²，JST-CREST³)

キーワード：パッシベーション,結晶系シリコン太陽電池,シリコン窒化膜