[19a-B4-1~12] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化

[19a-B4-1] 「講演奨励賞受賞記念講演」（15分）厚膜PZT/PZTバイモルフを用いたMEMSミラー試作

^○井上純一¹，神田健介^1,2，斎藤誉司²，藤田孝之^1,2，前中一介^1,2 (兵庫県立大電気系工学¹，日本科学技術振興機構²)

キーワード：PZT,Bimorph,MEMS