[19a-B4-1~12] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化

△ [19a-B4-11] サブ波長格子を用いた透過型可変減衰器の製作

^○本間浩章，高橋一浩，石井仁，石田誠，澤田和明 (豊橋技術科学大)

キーワード：サブ波長格子,透過型可変減衰器,平行平板静電アクチュエータ