2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化

[19a-B4-1~12] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化

2013年9月19日(木) 09:00 〜 12:15 B4 (TC2 1F-106)

09:30 〜 09:45

△ [19a-B4-3] 非対称周期構造を導入したプラズモニックメタマテリアルによる多波長選択型非冷却赤外線センサ

○高川陽輔1，増田恭平1，小川新平2，木股雅章1 (立命館大1，三菱電機2)

キーワード：plasmon,MEMS