[19a-B4-1~12] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化

[19a-B4-5] ヘテロ集積化蛍光検出デバイス　－励起光源の実装－

^○住友慶子，伊藤佐千子，多喜川良，辻村範行，加藤久幸，小林健，前田龍太郎，亀井利浩 (産総研・集積マイクロシステムRC)

キーワード：ヘテロ集積化