[19a-B4-1~12] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化

▼ [19a-B4-6] In-plane Nano-electro-mechanical Resonators: Design, Fabrication and Measurement

^○（P）Faezeh Arab Hassani¹，シシリア デュプレ²，エリク オリエ²，セバスチャン バーチュー³，エイドリアン イオネスク³，土屋良重⁴，水田博⁴ (北陸先端大¹，CEA-LETI²，EPFL³，サザンプトン大⁴)

キーワード：Nano-electro-mechanical resonator,Junction-less field-effect-transistor detection,free-free NEM resonator