[19a-B4-1~12] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化

[19a-B4-9] コンプライアントバンプによるqVGAサイズの異種材料間常温I/O接続

^○岩鍋圭一郎，首藤高徳，浅野種正 (九大)

キーワード：Compliant Bump