[19a-B5-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [19a-B5-6] 半極性{11-22}GaNホモエピタキシャル膜における不純物の取り込み

^○（D）西中淳一，船戸充，川上養一 (京大院工)

キーワード：半極性,ホモエピタキシ,不純物