[19a-C10-1~9] 13.4 配線技術

[19a-C10-6] Wafer-On-Wafer構造におけるSi貫通ビア近傍の周期的歪分布

^○田岡紀之¹，中塚理¹，水島賢子^2,3，北田秀樹^2,3，Young Suk Kim^3,4，中村友二²，大場隆之^3,4，財満鎭明¹ (名大院工¹，富士通研究所²，東工大³，東大⁴)

キーワード：Si貫通ビア,歪