[19a-C11-1~9] 9.1 誘電材料・誘電体

[19a-C11-2] 電場誘起の光第2次高調波発生測定法によるSiO₂-SiN積層膜中の電荷分布評価

^○竹内宏樹¹，中村邦彦¹，内藤康幸¹，間中孝彰²，岩本光正² (パナソニック¹，東工大²)

キーワード：第2次高調波発生