[19a-C11-1~9] 9.1 誘電材料・誘電体

△ [19a-C11-6] YAlO₃表面の結晶構造に熱処理が与える影響

^○（M1）井上貴博，金子昇司，森本貴明，堀井陽介，大木義路 (早大)

キーワード：High-k,YAlO3,Annealing