[19a-C13-1~6] 3.3 機器・デバイス光学

[19a-C13-1] 極座標系レーザー描画によるプラズモニック格子の製作

^○尼子淳¹，藤井永一² (東洋大理工¹，セイコーエプソン²)

キーワード：レーザー描画,プラズモニック格子