[19a-C2-1~12] 8.5 プラズマナノテクノロジー

△ [19a-C2-12] SiH₄パルス供給によるArプラズマ発光の増大と生成したシリコンナノ結晶の関係

^○池本和史，中峯嘉文，河野行雄，小田俊理 (東工大量子ナノ研セ)

キーワード：Siナノ粒子,プラズマCVD