[19a-C2-1~12] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[19a-C2-9] Ni極薄膜のスパッタ堆積過程でのコンダクタンスその場評価

^○楠本雄司¹，小路紘史¹，関家一樹¹，古田寛^1,2，八田章光^1,2 (高知工科大¹，高知工科大ナノテク研²)

キーワード：スパッタ,コンダクタンス