[19a-C7-1~15] 6.4 薄膜新材料

[19a-C7-11] RFマグネトロンスパッタ法によるSmFe7エピタキシャル薄膜の作製

^○楠森毅，高木健太，中山博行，溝尻瑞枝，尾崎公洋 (産総研中部センター)

キーワード：磁石薄膜,スパッタ