[19a-C7-1~15] 6.4 薄膜新材料

[19a-C7-9] MoSi₂-Si複合体薄膜の抵抗率の温度依存性と導電機構

^○木谷僚介，佐藤祐喜，吉門進三 (同志社大院理工)

キーワード：薄膜,二珪化モリブデン,複合体