[19a-D1-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[19a-D1-10] キレート剤を用いた非鉛KNN圧電薄膜のウエットエッチング加工

^○堀切文正，柴田憲治，末永和史，渡辺和俊，野口将希 (日立電線)

キーワード：圧電体,非鉛,薄膜