[19a-D2-1~15] 6.6 プローブ顕微鏡

△ [19a-D2-3] 周波数変調方式走査インピーダンス顕微鏡を用いた有機薄膜トランジスタの局所電気特性評価

^○木村知玄¹，小林圭²，山田啓文¹ (京大院工¹，京大白眉セ²)

キーワード：有機薄膜トランジスタ,走査インピーダンス顕微鏡