11:30 〜 11:45
[19a-D6-8] マイクロ・ナノシリコンへのSiC超薄膜の作製
キーワード：SiC,超薄膜,マイクロ・ナノシリコン
講演情報
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.2 超薄膜・量子ナノ構造
[19a-D6-1~9] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造
2013年9月19日(木) 09:30 〜 12:00 D6 (MK 3F-301)
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.2 超薄膜・量子ナノ構造
2013年9月19日(木) 09:30 〜 12:00 D6 (MK 3F-301)
11:30 〜 11:45
キーワード：SiC,超薄膜,マイクロ・ナノシリコン