[19a-P2-1~29] 5 光エレクトロニクス（ポスター）

[19a-P2-15] InGaAsP細線導波路光スイッチに向けたZn拡散によるp⁺InGaAsPの形成

^○一宮佑希¹，野口宗隆¹，横山正史¹，市川磨²，長田剛規²，秦雅彦²，竹中充¹，高木信一¹ (東大院工¹，住友化学²)

キーワード：光スイッチ,III-V CMOS フォトニクス,Zn拡散