[19a-P2-1~29] 5 光エレクトロニクス（ポスター）

[19a-P2-17] 波長選択スイッチ用MEMS可変シリコン細線導波路リング共振器

H.M. Chu，阿部翔太郎，佐々木敬，金森義明，^○羽根一博 (東北大)

キーワード：MEMS,microring,シリコンフォトニクス