[19a-P3-1~27] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19a-P3-17] 液相PLA法による複合酸化物微粒子薄膜作製評価と半導体ガスセンサー応用

^○楊洪権¹，永井豊¹，小野洋¹，田中勝己¹ (電通大情報理工¹)

キーワード：複合酸化物,微粒子,薄膜