2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

06.薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19a-P3-1~27] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2013年9月19日(木) 09:30 〜 11:30 P3 (デイヴィス記念館 )

09:30 〜 11:30

[19a-P3-27] スパッタおよびイオンアシスト斜め入射堆積法によるTiO2膜の作製

星陽一,安田洋司,北原直人 (東京工芸大)

キーワード:斜め入射堆積,TiO2,光触媒