[19a-P9-1~10] 15.6 IV族系化合物

[19a-P9-6] 電流検出ESRによるC面4H-SiC MOSFET界面欠陥からの水素脱離の観察

^○（M1）荒井亮¹，梅田享英¹，佐藤嘉洋¹，岡本光央²，原田信介²，小杉亮治²，奥村元²，牧野高紘³，大島武³ (筑波大¹，産総研²，原研³)

キーワード：炭化ケイ素,ゲート酸化膜界面,電子スピン共鳴