2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15.結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[19a-P9-1~10] 15.6 IV族系化合物

2013年9月19日(木) 09:30 〜 11:30 P9 (デイヴィス記念館 )

09:30 〜 11:30

[19a-P9-6] 電流検出ESRによるC面4H-SiC MOSFET界面欠陥からの水素脱離の観察

○(M1)荒井亮1,梅田享英1,佐藤嘉洋1,岡本光央2,原田信介2,小杉亮治2,奥村元2,牧野高紘3,大島武3 (筑波大1,産総研2,原研3)

キーワード:炭化ケイ素,ゲート酸化膜界面,電子スピン共鳴