[19a-P9-1~10] 15.6 IV族系化合物

△ [19a-P9-8] アンモニア水溶液中レーザー照射による4H-SiC中への窒素ドーピング

^○（B）井上祐樹，池上浩，池田晃裕，中村大輔，岡田龍雄，浅野種正 (九大)

キーワード：SiC,laser,Doping