2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.6 イオンビーム一般

[19p-A12-1~13] 7.6 イオンビーム一般

2013年9月19日(木) 13:30 〜 17:00 A12 (TC1 3F-316)

16:00 〜 16:15

[19p-A12-10] アセトンクラスターイオンビームのSi表面への照射効果

角元友樹,龍頭啓充,竹内光明,高岡義寛 (京大光電子理工セ)

キーワード:イオンビーム