2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.6 イオンビーム一般

[19p-A12-1~13] 7.6 イオンビーム一般

2013年9月19日(木) 13:30 〜 17:00 A12 (TC1 3F-316)

13:45 〜 14:00

[19p-A12-2] 理想形状電界イオンエミッタ作製のための電界誘起酸素エッチング進行過程の解明

○(M1)加藤習1,浅井貴之1,永井滋一1,2,岩田達夫2,梶原和夫2,畑浩一1,2,安坂幸師3,齋藤弥八3 (三重大院工1,三重大極限ナノエレセ2,名大院工3)

キーワード:電界誘起酸素エッチング